| Serie | Características específicas | Longitud útil de medida | Método de medición | Precisión | Tipo de perfil |
|---|---|---|---|---|---|
| GX | TTL diferencial de 1µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GOX | TTL diferencial de 1µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GSX | TTL diferencial de 1µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| SX / SVX | TTL diferencial de 1µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SOX / SVOX | TTL diferencial de 1µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SSX / SVSX | TTL diferencial de 1µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| GP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GOP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GSP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| SP / SVP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SOP / SVOP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SSP / SVSP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| GY | TTL diferencial de 0,5µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GOY | TTL diferencial de 0,5µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GSY | TTL diferencial de 0,5µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| SY / SVY | TTL diferencial de 0,5µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SOY / SVOY | TTL diferencial de 0,5µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SSY / SVSY | TTL diferencial de 0,5µm | 70 ÷ 6020 mm (2,7 ÷ 236 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| GW | TTL diferencial de 0,1µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GOW | TTL diferencial de 0,1µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| GSW | TTL diferencial de 0,1µm | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| SW / SVW | TTL diferencial de 0,1µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SOW / SVOW | TTL diferencial de 0,1µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| SSW / SVSW | TTL diferencial de 0,1µm | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | Reducido | |
| GA | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Absoluto | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio |
| SA / SVA | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Absoluto | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| GA F | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Absoluto | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio | |
| SA F / SVA F | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Absoluto | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio | |
| GA P | 140 ÷ 3040 mm (5,5 ÷ 120 inch) | Absoluto | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio | |
| SA P / SVA P | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Absoluto | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Medio | |
| SUD / SVUD | TTL diferencial con resolución programable | 70 ÷ 2040 mm (2,7 ÷ 80 inch) | Incremental | ±5 µm/m | ±3 µm/m | Reducido |
| CT | TTL de 5µm | Incremental | ±10µm/m | Medio | |
| COT | TTL de 5µm | 220 ÷ 3040 mm (8,6 ÷ 120 inch) | Incremental | ±10µm/m | Medio |
| MKT | TTL de 5µm | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±10µm/m | Reducido |
| MT | TTL de 5µm | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±10µm/m | Reducido |
| MTD | TTL de 5µm | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±10µm/m | Reducido |
| MOT | TTL de 5µm | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±10µm/m | Reducido |
| CX | TTL diferencial de 1µm | 220 ÷ 3040 mm (8,6 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Medio |
| COX | TTL diferencial de 1µm | 220 ÷ 3040 mm (8,6 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Medio |
| MX | TTL diferencial con resolución programable | 140 ÷ 1240 mm (5,5 ÷ 48 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Reducido |
| MOX | TTL diferencial de 1µm | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Reducido |
| MKX | TTL diferencial de 1µm | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±10µm/m | Reducido |
| CP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 220 ÷ 3040 mm (8,6 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Medio |
| COP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 220 ÷ 3040 mm (8,6 ÷ 120 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Medio |
| MP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Reducido |
| MOP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 70 ÷ 1540 mm (2,7 ÷ 60 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Reducido |
| LX | TTL diferencial de 1µm | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| LOX | TTL diferencial de 1µm | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| LP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| LOP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| FT | TTL de 5µm | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| FOT | TTL de 5µm | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| FX | TTL diferencial de 1µm | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| FOX | TTL diferencial de 1µm | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| FP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |
| FOP | Sinusoidal diferencial de 1 Vpp | 3200 ÷ 30040 mm (128 ÷ 1182 inch) | Incremental | ±5 µm/m | Grande |